VIP Thành viên
Kính hiển vi điện tử quét trường phân giải cực cao Dòng SU8600
Với sự phát triển của thu thập dữ liệu nhanh chóng và công nghệ xử lý dữ liệu, kính hiển vi điện tử đã bước vào kỷ nguyên không chỉ chú trọng đến chất
Chi tiết sản phẩm
Kính hiển vi điện tử quét trường phân giải cực cao Dòng SU8600
Với sự phát triển của thu thập dữ liệu nhanh chóng và công nghệ xử lý dữ liệu, kính hiển vi điện tử đã bước vào kỷ nguyên không chỉ chú trọng đến chất lượng dữ liệu mà còn chú trọng đến quá trình thu thập dữ liệu. Dòng SU8600 tuân theo hình ảnh chất lượng cao của dòng Regulus 8200, phân tích luồng lớn và công nghệ hình ảnh trường lạnh hoạt động ổn định trong thời gian dài, đồng thời cải thiện đáng kể khả năng thu thập dữ liệu tự động và thông lượng cao.
- *
- Hình ảnh thiết bị chứa các tùy chọn.
-
Tính năng
-
Thông số
Tính năng
Tính năng
Hình ảnh độ phân giải cực cao
Nguồn điện tử độ sáng cao của Hitachi đảm bảo hình ảnh có độ phân giải cực cao ngay cả ở điện áp hạ cánh cực thấp.
Ví dụ về zeolit loại RHO được quan sát ở điều kiện điện áp 0,8 kV. Hình ảnh bên trái là hình dạng tổng thể của các viên, hình ảnh bên phải là hình ảnh phóng đại, kết cấu bậc thang nhỏ trên bề mặt các viên có thể nhìn thấy rõ ràng. Quan sát điện áp thấp hiệu quả hơn trong việc giảm thiệt hại chùm electron và thu thập thông tin về hình dạng bề mặt.
Cung cấp mẫu: Ông Uemura Jiada, Viện Nghiên cứu Tích hợp Công nghệ Công nghiệp Nhật Bản
Hình ảnh tán xạ điện áp tăng tốc thấp với độ lót cao
Quan sát phần NAND 3D;
Trong điều kiện điện áp gia tốc thấp, tín hiệu điện tử tán xạ ngược có thể hiển thị rõ ràng sự khác biệt về độ lót giữa lớp silicon oxit và lớp silicon nitride.
Quan sát phần NAND 3D (điện áp tăng tốc: 1,5kV)
Hình ảnh BSE nhanh: Máy dò điện tử tán xạ cơ thể nhấp nháy mới (OCD)*
Nhờ sử dụng máy dò OCD mới, hình ảnh cấu trúc sâu sắc của Fin-FET vẫn có thể được quan sát ngay cả khi thời gian quét chưa đầy 1 giây.
Quan sát cấu trúc bên trong của SRAM quy trình 5 nanomet (điện áp tăng tốc: 30kV, thời gian quét<1 giây)
Chức năng tự động hóa tiên tiến *
EM Flow Creator cho phép khách hàng tạo quy trình làm việc tự động để thu thập hình ảnh liên tục. EM Flow Creator định nghĩa các chức năng SEM khác nhau như các mô-đun đồ họa, chẳng hạn như đặt độ phóng đại, di chuyển vị trí mẫu, điều chỉnh độ dài tiêu cự và độ tương phản sáng và tối, v.v. Người dùng có thể tạo các mô-đun này thành một chương trình làm việc theo thứ tự logic bằng cách kéo và thả chuột đơn giản. Sau khi gỡ lỗi và xác nhận, chương trình có thể tự động thu được dữ liệu hình ảnh chất lượng cao và tái tạo tốt mỗi lần gọi.
Giao diện người dùng linh hoạt
Native hỗ trợ màn hình kép, cung cấp không gian hoạt động linh hoạt và hiệu quả. 6 kênh hiển thị và lưu đồng thời để thực hiện quan sát và thu thập đa tín hiệu nhanh chóng.
Các tín hiệu 1, 2, 4 hoặc 6 kênh có thể được hiển thị đồng thời trên cùng một màn hình, với nội dung chuyển đổi bao gồm các máy dò SEM khác nhau cũng như máy ảnh phòng mẫu và máy ảnh điều hướng. Không gian làm việc có thể được mở rộng bằng cách sử dụng hai màn hình, giao diện người dùng có thể tùy chỉnh để làm việc hiệu quả hơn.
Thông số
| Mô hình | Dòng SU8600 | |
|---|---|---|
| Hệ thống quang điện tử | Độ phân giải hình ảnh điện tử bậc hai | 0.6 nm@15 kV |
| 0.7 nm@1 kV * | ||
| Độ phóng đại | 20 to 2,000,000 x | |
| Súng điện tử | Trường lạnh phát ra nguồn điện tử, hỗ trợ chức năng nhấp nháy linh hoạt, bao gồm hệ thống nướng anode. | |
| Tăng tốc điện áp | 0.5 to 30 kV | |
| Điện áp hạ cánh | 0.01 to 20 kV | |
| Máy dò | (Một phần là các mục tùy chọn) | Máy dò trên (UD) |
| Bộ lọc năng lượng UD ExB với chức năng trộn tín hiệu SE/BSE | ||
| Máy dò dưới (LD) | ||
| Đầu dò hàng đầu (TD) | ||
| Bộ lọc năng lượng TD | ||
| Máy dò điện tử phân tán ngược bên trong ống kính (IMD) | ||
| Máy dò điện tử tán xạ lưng bán dẫn (PD-BSED) | ||
| Máy dò điện tử tán xạ lưng kiểu nhấp nháy mới (OCD) | ||
| Máy dò huỳnh quang cathode (CLD) | ||
| Máy dò truyền qua quét (STEM Detector) | ||
| Phụ kiện | (Một phần là các mục tùy chọn) | Máy ảnh điều hướng Máy ảnh phòng mẫu Máy quang phổ năng lượng tia X (EDS) Máy dò nhiễu xạ điện tử tán xạ ngược (EBSD) |
| Phần mềm | (Một phần là các mục tùy chọn) | EM Flow Creater, HD Capture (tối đa 40.960×30.720 pixel) |
| Bảng mẫu | Động cơ ổ trục | Ổ đĩa động cơ 5 trục (X/Y/R/Z/T) |
| Động cơ ổ trục | X：0~110 mm | |
| Y：0~110 mm | ||
| Z：1.5~40 mm | ||
| T：-5~70° | ||
| R：360° | ||
| Phòng mẫu | Kích thước mẫu | Đường kính tối đa: 150 mm |
- *
- Dưới chế độ giảm tốc
Phân loại sản phẩm liên quan
- Hệ thống chùm ion tập trung (FIB/FIB-SEM)
- Thiết bị xử lý mẫu TEM/SEM
Yêu cầu trực tuyến
-
Liên hệ
-
Công ty
-
Điện thoại
-
Thư điện tử
-
Trang chủ
-
Mã xác nhận
-
Nội dung tin nhắn
-