1. Đặc điểm kỹ thuật

lKính hiển vi hai mắt có độ phóng đại cao và22Màn hình LCD màn hình rộng inch đồng thời quan sát quá trình căn chỉnh và cung cấpUSBxuất khẩu; Đáp ứng cả căn chỉnh chính xác cao và có thể được sử dụng để phát hiện kết quả phơi sáng, cũng như kết quả phơi sáng và lưu trữ thuận tiện

lSử dụng ánh sáng đảo ngược, thuận tiện hơn để thay thế đèn thủy ngân, tản nhiệt và chống rò rỉ ánh sáng tốt hơn

lAlignment Bit và Exposure Bit hoạt động song công, chuyển đổi song công tự động

lSử dụng máy tính nhúng+Hoạt động màn hình cảm ứng, hoạt động thuận tiện hơn, thời trang hơn

lTrên dưới phim, phiên bản vô cùng thuận tiện, trình độ tự động hóa cao, thao tác đơn giản. Giáo trình Hệ quản trị cơ sở dữ liệu Access ((Hiệu quả cao)Đặc biệt thích hợp

2. Thông số kỹ thuật

lKhu vực phơi sáng:100mm×100mm(Có thể nâng cấp lên6Kích thước (

lBước sóng phơi sáng:365nm

lLực phân biệt:≤1mm(Độ dày keo1.5 mmnguyên tố Astatine (

lĐộ chính xác căn chỉnh:±0.6mm

lPhạm vi chuyển động của bàn quét kính hiển vi:X：10mm;Y:10mm

lKích thước mặt nạ:2.5inch,3inch,4inch,5Kích thước

lKích thước mẫu: Đường kínhf15mm--f100mm(Các loại bất thường)

Độ dày0.1mm--6mm

lChế độ phơi sáng Thời gian (chế độ đếm ngược) và liều cố định

lCó tiếp xúc chân không, tiếp xúc cứng.Ánh sángTiếp xúc với áp suất, và tiếp xúc với 4 chức năng.

lĐộ không đồng đều của ánh sáng: 3%（f100mmPhạm vi (

lKính hiển vi căn chỉnh trường kép hai mắt: cả hai đều có thể đi qua thị kínhHình ảnhCăn chỉnh, cũng có thể thông quaCCD+Căn chỉnh màn hình, quang hợp, quang học bội số tối đa400Gấp đôi, quang học.+Phóng to điện tử800Nhân đôi

Vật kính ba cặp:4Gấp đôi,10Gấp đôi,20Nhân đôi

Thị kính ba cặp:10Gấp đôi,16Gấp đôi,20Nhân đôi

lSan lấp mặt bằng áp suất tiếp xúc đảm bảo lặp lại thông qua cảm biến

lCài đặt kỹ thuật số Khoảng cách căn chỉnh và khoảng cách

lCó giao diện mô-đun đóng dấu, cũng có giao diện mô-đun gần

lMặt nạ di chuyển liên quan đến mẫu:

X:±5mm; Y:±5mm;q:±6?

lĐộ dày tiêu cự tối đa:400mm（SU8Thông báo cập nhật phần mềm QLTN Hồ sơ ((((

lCác đèn song song:3?

lMật độ năng lượng phơi sáng:>25mW/cm2,Nhiệt độ bề mặt chiếu sáng<35?C

lPhơi sáng một lớp Một phím hoàn thành

lSử dụng Ball Air Float+Ba móng vuốt San lấp mặt bằng

lCông suất đèn thủy ngân:350W(Dòng điện trực tiếp,Nhập khẩu）

3. Kích thước tổng thể:1400mm(dài)?900mm(Rộng)?1500mm(Cao)

4. Cấu hình

（1) Đầu phơi sáng

lÁnh sáng lạnh Elliptical Mirror

l350WĐèn thủy ngân cao áp DC nhập khẩu(Osram Đức)

lXYZBảng điều chỉnh đèn thủy ngân

lQuạt làm mát

lHệ thống quang học: thanh ánh sáng cố định, thanh ánh sáng thay đổi, màn trập, ống kính chuẩn trực1Kính chuẩn trực2Nhóm thấu kính mắt ruồi.79(Một thấu kính),iBộ lọc dòng, gương trường, gương ánh sáng lạnh1, gương phản chiếu2

（2) Căn chỉnh bảng phôi

lCơ sở máy photocopy

lTrạm chuyển đổi bàn (xi lanh)

lMặt nạ mẫu tích hợp bàn thể thao

lMặt nạ mẫu bảng thể thao tương đối

lBàn xoay

lCơ chế san lấp mặt bằng mẫu,Ba điểm tự động hoàn thành

lCơ chế lấy nét mẫu, điều chỉnh động cơ tự động

lCơ chế kéo và kéo cơ bản

lBảng ổ đĩa4Một:f15mm 、f40mm、f60mm、f100mm(Bạn có thể tăng giảm theo yêu cầu của người dùng)

lMặt nạ kẹp4Một:2.5inch,3inch,4inch,5In - tơ - nét (có thể tăng hoặc giảm theo yêu cầu của người dùng)

lMẫu kéo cơ chế lên và xuống

（3) Căn chỉnh kính hiển vi

lNguồn sáng, Nguồn điện

lTrường nhìn đôi mắt nhắm vào thân kính hiển vi

lTrang chủ3Điều kiện (10Gấp đôi,16Gấp đôi,20gấp đôi, cộng6một)

lMục tiêu3Điều kiện (4Gấp đôi,10Gấp đôi,20gấp đôi, cộng6một)

lCCDhệ thống căn chỉnh,22Màn hình LCD inch

（4) Hệ thống điều khiển điện

lĐèn thủy ngân kích hoạt nguồn điện(350WĐèn thủy ngân DC)

lHệ thống điều khiển chip đơn

lBảng điều khiển

lBảng điều khiển tủ

（5) Hệ thống khí nén

lXi lanh, van điện từ, van giảm áp, công tắc khí nén, v.v.

lSolenoid Van điều khiển

lDụng cụ khí nén

（6) Phụ kiện khác

lBơm chân không Một

lMáy nén khí một

lĐường ống giao diện phù hợp

（7) Thông tin kỹ thuật

lHướng dẫn sử dụng dịch vụ

lKiểm tra sản phẩm Giấy chứng nhận hợp lệ