EBSD， Tên đầy đủ của nhiễu xạ tán xạ lưng điện tử, đặc điểm chính là nhiễu xạ độ phân giải không gian dưới micron trong khi vẫn giữ các đặc điểm thông thường của kính hiển vi điện tử quét, cho dữ liệu về tinh thể học.

Ví dụ 1

Kết quả EBSD cho các mẫu cacbua vonfram/coban thu được trong điều kiện 20kV

Bóng hàn SEM-EBSD thử nghiệm trên PCB Board

Quan sát tại chỗ sự thay đổi pha của gamma → alpha trong thép carbon thấp

Dữ liệu căng thẳng cho EBSD tại chỗ hợp kim Al

Ví dụ 2: Sử dụng công nghệ TKD đồng trục để kiểm tra cấu trúc lớp chip nano của đồng nano và phân biệt được cấu trúc lớp chip sinh đôi ở quy mô 2nm.

Sơ đồ PQ về cấu trúc song sinh của đồng nano song sinh với lớp phủ IPFX và sơ đồ phân bố góc tại các đoạn thẳng trong sơ đồ