• Độ chính xác cao ± 1,0% điểm đặt
  Độ tuyến tính của bộ điều khiển lưu lượng khối này được bù bằng đường cong xấp xỉ đa thức và đạt được độ chính xác cao trong phạm vi kiểm soát lưu lượng. Để cải thiện độ chính xác của khí thực tế, dữ liệu định danh cho các khí quá trình khác nhau được đo bằng hệ thống đo khí tiêu chuẩn của HORIBA STEC.
• Phản hồi tốc độ cao
  Một "hệ thống PID biến đổi" được lắp ráp để đạt được phản hồi 1 giây giữa bất kỳ hai điểm đặt nào. PID thay đổi liên tục thay đổi tùy thuộc vào cài đặt điểm lưu lượng. Tối ưu hóa hệ số PID khi có sự thay đổi về lưu lượng và khí trong phạm vi đầy đủ.
• Giải pháp đa khí/đa dải
  Phần mềm cấu hình có thể thay đổi thông số kỹ thuật một cách nhanh chóng và dễ dàng. Một tính năng quan trọng là các thay đổi có thể được thực hiện mà không cần loại bỏ bộ điều khiển lưu lượng chất lượng khỏi bảng điều khiển khí hoặc đường ống. Giảm số lượng bộ điều khiển lưu lượng khối dự phòng cần thiết, tiết kiệm thời gian và chi phí.

Bộ điều khiển lưu lượng khối SEC-Z500X phù hợp cho nhiều ứng dụng cũng như sản xuất chất bán dẫn.