Kính hiển vi kiểm tra bán dẫn/FPD Olympus MX63 và MX63L được tối ưu hóa để kiểm tra chất lượng cao các wafer, màn hình phẳng, bảng mạch và các mẫu wafer lớn khác lên đến 300mm. Thiết kế mô-đun của chúng cho phép bạn chọn các thành phần mà bạn cần tùy chỉnh hệ thống của mình vào ứng dụng. Olympus Semiconductor/FPD Check Micro kết hợp với phần mềm phân tích hình ảnh Olympus Stream, toàn bộ quy trình làm việc của bạn, từ quan sát đến tạo báo cáo, có thể được đơn giản hóa.

Công cụ phân tích biên giới

Khả năng quan sát đa chức năng của dòng MX63 cung cấp hình ảnh sắc nét, rõ ràng để người dùng có thể phát hiện lỗi trong mẫu một cách đáng tin cậy. Công nghệ chiếu sáng mới và các tùy chọn thu thập hình ảnh trong phần mềm phân tích hình ảnh Olympus Stream cung cấp cho người dùng nhiều lựa chọn hơn để đánh giá mẫu của họ và ghi lại những phát hiện của họ.

Vô hình trở nên hữu hình: Quan sát hỗn hợp và thu nhận

Kỹ thuật quan sát hỗn hợp tạo ra hình ảnh quan sát độc đáo bằng cách kết hợp các trường tối với một phương pháp quan sát khác, chẳng hạn như trường sáng, huỳnh quang hoặc phân cực. Quan sát hỗn hợp cho phép người dùng xem các khiếm khuyết khó nhìn thấy bằng kính hiển vi thông thường. Đèn LED tròn để quan sát trường tối có chức năng trường tối định hướng, trong đó chỉ có một góc phần tư được chiếu sáng tại một thời điểm nhất định. Điều này làm giảm quầng của mẫu và giúp hình dung kết cấu bề mặt của mẫu.

Cấu trúc của chip bán dẫn

dư lượng photoxelate trên chip bán dẫn

Dễ dàng tạo hình ảnh toàn cảnh: MIa tức thì

Sử dụng nhiều liên kết hình ảnh (MIA), người dùng có thể ghép hình ảnh một cách nhanh chóng và dễ dàng bằng cách di chuyển núm KY trong giai đoạn thủ công mà nền tảng điện là không cần thiết. Phần mềm Olympus Stream sử dụng nhận dạng mẫu để tạo ra hình ảnh toàn cảnh mang lại cho người dùng một cái nhìn rộng hơn.

Tạo tất cả các ảnh tiêu điểm: EFI

Chức năng Extended Focus Imaging (EFI) trong Olympus Stream chụp ảnh của mẫu có chiều cao vượt quá độ sâu tiêu điểm của mục tiêu và chồng chúng lại với nhau để tạo ra một hình ảnh tập trung đầy đủ. EFI có thể được thực hiện bằng tay hoặc bằng điện Z-axis và tạo ra một biểu đồ chiều cao để dễ dàng hình dung cấu trúc. Hình ảnh EFI cũng có thể được xây dựng ngoại tuyến trong streaming desktop.

Chụp vùng sáng và vùng tối với HDR

Sử dụng xử lý hình ảnh tiên tiến, dải động cao (HDR) điều chỉnh sự khác biệt về độ sáng trong hình ảnh để giảm độ chói. HDR cải thiện chất lượng hình ảnh kỹ thuật số, do đó giúp tạo báo cáo chuyên nghiệp.

Từ đo lường cơ bản đến phân tích

Đo lường là rất quan trọng đối với chất lượng và quá trình kiểm soát và kiểm tra. Với ý nghĩ đó, ngay cả gói Olympus Stream cấp nhập cảnh bao gồm một menu đầy đủ các tính năng đo lường tương tác, tất cả các phép đo được lưu trong tệp hình ảnh cho các tài liệu tiếp theo. Ngoài ra, Olympus Stream Material Solutions cung cấp một giao diện trực quan, hướng công việc để phân tích hình ảnh phức tạp. Với một nút bấm, nhiệm vụ phân tích hình ảnh có thể được thực hiện nhanh chóng và chính xác. Khi thời gian xử lý các nhiệm vụ lặp đi lặp lại giảm đáng kể, người vận hành có thể tập trung kiểm tra trong tầm tay.

Tạo báo cáo

Tạo báo cáo thường mất nhiều thời gian hơn chụp ảnh và đo lường. Olympus Streaming Software cung cấp việc tạo báo cáo trực quan để tạo báo cáo thông minh và phức tạp liên tục dựa trên các mẫu được xác định trước. Chỉnh sửa rất đơn giản và báo cáo có thể được xuất sang Microsoft Word hoặc phần mềm PowerPoint. Ngoài ra, chức năng báo cáo của Olympus Streaming Software cho phép thu thập hình ảnh được phóng to và thu nhỏ kỹ thuật số. Các tập tin báo cáo là một kích thước hợp lý để dễ dàng trao đổi dữ liệu qua email.

Tùy chọn máy ảnh độc lập

Với máy ảnh hiển vi DP22 hoặc DP27, dòng MX63 trở thành một hệ thống độc lập tiên tiến. Máy ảnh có thể được điều khiển thông qua một hộp nhỏ gọn chỉ yêu cầu không gian nhỏ hơn, giúp người dùng tận dụng tối đa không gian phòng thí nghiệm trong khi vẫn chụp được hình ảnh sắc nét và thực hiện các phép đo cơ bản.

Hỗ trợ thiết kế Cleanroom Conformity

Dòng MX63 được thiết kế để hoạt động trong phòng sạch và giúp giảm nguy cơ ô nhiễm hoặc làm hỏng mẫu. Hệ thống có thiết kế công thái học giúp người dùng thoải mái ngay cả khi sử dụng lâu dài. Dòng MX63 tuân thủ các thông số kỹ thuật và tiêu chuẩn quốc tế, bao gồm Semi S2/S8, CE và UL.

Tích hợp bộ nạp wafer tùy chọn - Hệ thống AL120 *

Bộ nạp wafer tùy chọn có thể được kết nối với dòng MX63 để chuyển các chip bán dẫn silicon và hợp chất từ băng cassette sang giai đoạn kính hiển vi mà không cần nhíp hoặc thanh. Hiệu suất và độ tin cậy tuyệt vời cho phép kiểm tra vĩ mô phía trước và phía sau hiệu quả, trong khi bộ nạp giúp phòng thí nghiệm tăng năng suất.

MX63 kết hợp với bộ nạp chip Al120 (phiên bản 200 mm) * E120 không có sẵn trong EMEA.

Kiểm tra làm sạch nhanh

Dòng MX63 đáp ứng kiểm tra chip phòng sạch. Tất cả các bộ phận cơ động đều có cấu trúc che chắn và áp dụng phương pháp điều trị chống tĩnh điện cho các bộ phận như khung kính hiển vi, ống, mặt nạ thở. Cánh mũi cơ giới quay nhanh hơn so với cánh mũi thủ công, giảm thời gian kiểm tra trong khi giữ tay của người vận hành thấp hơn wafer và giảm ô nhiễm tiềm ẩn.

Thiết kế hệ thống cho phép quan sát hiệu quả

Do sự kết hợp của ly hợp tích hợp và núm XY, lớp XY có khả năng thực hiện chuyển động hai giai đoạn thô và mịn cùng một lúc. Giai đoạn này góp phần vào hiệu quả quan sát, ngay cả đối với các mẫu lớn, chẳng hạn như chip 300 mm.Phạm vi rộng của ống quan sát nghiêng cho phép người vận hành ngồi dưới kính hiển vi ở tư thế thoải mái.

Chấp nhận tất cả các kích thước wafer

Hệ thống với các loại khác nhau của 150-200 mm và 200-300 mm wafer chủ sở hữu và tấm kính. Nếu kích thước của chip thay đổi trên dây chuyền sản xuất, khung của kính hiển vi có thể được sửa đổi với chi phí nhỏ hơn. Với dòng MX63, các giai đoạn khác nhau có thể được sử dụng để chứa dây kiểm tra trên các chip 75 mm, 100 mm, 125 mm và 150 mm.

Điều khiển kính hiển vi trực quan: Thoải mái và dễ sử dụng

Thiết lập của kính hiển vi rất dễ vận hành, giúp người dùng dễ dàng điều chỉnh và tái tạo cài đặt hệ thống.

Tìm kiếm sự tập trung nhanh chóng: Hỗ trợ tập trung

Việc chèn thiết bị hỗ trợ lấy nét vào đường dẫn ánh sáng có thể dễ dàng và chính xác tập trung vào các mẫu có độ tương phản thấp, chẳng hạn như tấm trần.

Dễ dàng khôi phục cài đặt kính hiển vi: Mã hóa phần cứng

Chức năng mã hóa kết hợp cài đặt phần cứng của dòng MX63 với phần mềm phân tích hình ảnh Olympus Stream. Phương pháp quan sát, cường độ ánh sáng và độ phóng đại được phần mềm tự động ghi lại và lưu trữ trong các hình ảnh liên quan. Vì các cài đặt có thể dễ dàng tái tạo, bất kỳ nhà khai thác nào cũng có thể thực hiện kiểm tra chất lượng tương tự với đào tạo tối thiểu.

Kiểm soát công thái học hoạt động nhanh hơn và thoải mái hơn

Các điều khiển để thay đổi mục tiêu và điều chỉnh khẩu độ được đặt dưới kính hiển vi, vì vậy người dùng không phải nới lỏng núm lấy nét hoặc di chuyển đầu ra khỏi thị kính trong quá trình sử dụng.

Quan sát nhanh hơn với quản lý cường độ ánh sáng và điều khiển khẩu độ tự động

Dưới kính hiển vi bình thường, mỗi người quan sát cần điều chỉnh cường độ ánh sáng và khẩu độ. Dòng MX63 cho phép người dùng đặt cường độ ánh sáng và điều kiện khẩu độ cho các độ phóng đại và phương pháp quan sát khác nhau. Các cài đặt này có thể dễ dàng được thu hồi, giúp người dùng tiết kiệm thời gian và duy trì chất lượng hình ảnh tuyệt vời.

Trình quản lý cường độ ánh sáng

Cường độ ánh sáng thông thường	Khi bạn thay đổi độ phóng đại hoặc phương pháp quan sát, hình ảnh trở nên quá sáng hoặc mờ.
Trình quản lý cường độ ánh sáng	Khi độ phóng đại hoặc quan sát được thay đổi, cường độ ánh sáng được điều chỉnh tự động để tạo ra hình ảnh tuyệt vời.

Điều khiển khẩu độ tự động

Kiểm tra chất lượng hình ảnh quang học và kỹ thuật số

Lịch sử phát triển quang học chất lượng cao và khả năng hình ảnh kỹ thuật số tiên tiến của Olympus đã chứng minh chất lượng quang học và kỷ lục về kính hiển vi cung cấp độ chính xác đo lường tuyệt vời.

Hiệu suất quang học nổi bật: Điều khiển quang sai trước sóng

Hiệu suất quang học của vật kính ảnh hưởng trực tiếp đến chất lượng hình ảnh quan sát và kết quả phân tích. Olympus UIS2 thiết kế mục tiêu độ phóng đại cao để giảm thiểu quang sai phía trước sóng, cung cấp hiệu suất quang học đáng tin cậy.

Mục tiêu UIS2 (Good Wave Front)

Nhiệt độ màu phù hợp: Ánh sáng LED trắng cường độ cao

Dòng MX63 sử dụng nguồn sáng LED trắng cường độ cao để phản xạ và truyền ánh sáng. Đèn LED duy trì nhiệt độ màu phù hợp bất kể cường độ để đảm bảo chất lượng hình ảnh đáng tin cậy và tái tạo màu sắc. Hệ thống LED cung cấp vật liệu chiếu sáng hiệu quả và tuổi thọ cao, phù hợp cho các ứng dụng khoa học vật liệu.

Đo lường chính xác: Hiệu chuẩn tự động

Tương tự như kính hiển vi kỹ thuật số, hiệu chuẩn tự động có sẵn khi sử dụng phần mềm Olympus Stream. Hiệu chuẩn tự động giúp loại bỏ sự biến đổi của con người trong quá trình hiệu chuẩn, dẫn đến các phép đo đáng tin cậy hơn. Hiệu chuẩn tự động sử dụng thuật toán để tự động tính toán hiệu chuẩn chính xác từ mức trung bình của nhiều điểm đo. Điều này làm giảm đáng kể sự khác biệt được giới thiệu bởi các nhà khai thác khác nhau và duy trì độ chính xác nhất quán, cải thiện độ tin cậy của việc xác minh thường xuyên.

Hình ảnh hoàn toàn sắc nét: sửa bóng hình ảnh

Phần mềm Olympus Streaming được đặc trưng bởi hiệu chỉnh bóng tối để phù hợp với bóng tối trên các góc của hình ảnh. Hiệu chỉnh bóng cung cấp phân tích chính xác hơn khi được sử dụng với cài đặt ngưỡng cường độ.

Chip bán dẫn (hình ảnh nhị phân)

Hoàn toàn tùy chỉnh

Mục đích của dòng MX63 là cho phép khách hàng lựa chọn các thành phần quang học khác nhau để phù hợp với nhu cầu kiểm tra và ứng dụng riêng lẻ. Hệ thống có thể sử dụng tất cả các phương pháp quan sát. Người dùng cũng có thể chọn từ các gói phân tích hình ảnh Olympus Stream khác nhau để đáp ứng nhu cầu thu thập và phân tích hình ảnh cá nhân.

Hai hệ thống thích nghi với kích thước mẫu khác nhau

Hệ thống MX63 có thể chứa chip lên đến 200 mm, trong khi hệ thống MX63L có thể xử lý chip lên đến 300 mm với cùng dấu chân nhỏ như hệ thống MX63. Thiết kế mô-đun cho phép bạn tùy chỉnh kính hiển vi theo yêu cầu cụ thể của bạn.

Tương thích hồng ngoại

Vật kính hồng ngoại có thể được thực hiện bằng cách sử dụng vật kính hồng ngoại, cho phép người vận hành phát hiện không phá hủy bên trong chip IC được đóng gói và gắn trên PCB, sử dụng các đặc tính của silicon truyền qua hồng ngoại. Các mục tiêu hồng ngoại từ 5X đến 100X có thể được điều chỉnh bằng sự khác biệt màu sắc tiến bộ của các bước sóng ánh sáng nhìn thấy hồng ngoại gần.

Dòng MX63 được sử dụng trong lĩnh vực ứng dụng của kính hiển vi ánh sáng phản xạ. Những ứng dụng này là một ví dụ về một số phương pháp mà hệ thống sử dụng để kiểm tra công nghiệp.

Hồng ngoại (IR) được sử dụng để tìm các khuyết tật khác của chip IC và các thiết bị silicon trên kính.

Ánh sáng phân cực được sử dụng để tiết lộ kết cấu của vật chất và trạng thái của các tinh thể. Nó phù hợp để kiểm tra cấu trúc wafer và LCD.

Differential Intervention Contrast (DIC) được sử dụng để hỗ trợ sự khác biệt giữa view và các mẫu nhỏ. Nó là lý tưởng cho các mẫu inspections đại học với sự khác biệt cao như đầu đĩa phút, phương tiện truyền thông đĩa cứng, và chip polished.

Trường tối được sử dụng để phát hiện các vết trầy xước hoặc khiếm khuyết nhỏ trên mẫu hoặc để phát hiện mẫu bằng gương, chẳng hạn như wafer. Ánh sáng hỗn hợp cho phép người dùng xem các mẫu và màu sắc.

huỳnh quang được sử dụng trong các mẫu phát ra ánh sáng khi được chiếu sáng bằng các bộ lọc được thiết kế đặc biệt. Điều này được sử dụng để phát hiện ô nhiễm và dư lượng quang kháng. Ánh sáng hỗn hợp có khả năng quan sát dư lượng photoreactive và mô hình IC.

Kỹ thuật quan sát này phù hợp với các mẫu trong suốt, chẳng hạn như vật liệu LCD, nhựa và thủy tinh. Ánh sáng hỗn hợp có thể quan sát màu sắc bộ lọc và mô hình mạch.

Olympus Semiconductor/FPD Kiểm tra Microscope Giải pháp Thông số cấu hình MX63/MX63L

		MX63	MX63L
Hệ thống quang học		Hệ thống quang học UIS2 (hiệu chỉnh vô hạn)
Hiển thị Việt Gương Máy móc Giá đỡ	Ánh sáng phản chiếu	Đèn LED,Đèn halogen 12V100W,Đèn thủy ngân 100W Chế độ chiếu sáng: lĩnh vực sáng, lĩnh vực tối Được xây dựng trong khẩu độ điện Phương pháp quan sát: trường sáng, trường tối, giao thoa vi phân (DIC), phân cực đơn giản, huỳnh quang, hồng ngoại
	Ánh sáng truyền qua	Thiết bị chiếu sáng: MX-TILLA hoặc MX-TILLB - MX-TILLA:: Khẩu độ khẩu độ NA0.5 - MX-TILLB: Khẩu độ NA0.6 Nguồn sáng: LG-PS2 (Đèn halogen 12/V100 W) Phương pháp quan sát: trường sáng, phân cực đơn giản
	Tập trung	Cú đánh: 32 mm Hành trình tinh chỉnh cho mỗi vòng quay: 100 μm Quy mô nhỏ zui: 1 μm Được trang bị giới hạn trên để điều chỉnh xoắn cho tay cầm điều chỉnh thô
	Giới hạn tải trọng (bao gồm cả giá đỡ)	8 kg	15 kg
Quan điểm Kiểm tra Trang chủ	Trường nhìn rộng (FN 22 mm)	Ví dụ: U-ETR4 Hình ảnh trực tiếp, nghiêng ba mắt: U-TTR-2 Bộ ba đảo ngược: U-TR30-2, U-TR30IR (IR Watch) Mắt đảo ngược: U-BI30-2 Đôi mắt đảo ngược, nghiêng: U-TBI30
	Tầm nhìn siêu rộng （FN 26.5 mm）	Bộ ba hình ảnh nghiêng: MX-SWETTR Tỷ lệ quang phổ 100%: 0 hoặc 0: 100%) Bộ ba hình ảnh, nghiêng: Tỷ lệ quang phổ U-SWETTR 100%: 0 hoặc 20%: 80%) Đảo ngược ba mắt: U-SWTR-3
Chuyển đổi mục tiêu		Bộ chuyển đổi điện sáu lỗ Mingyuan với khe cắm DIC: U-D6REMC Bộ chuyển đổi năm lỗ Mingfield với khe định tâm tự động DIC: U-P5REMC Bộ chuyển đổi điện sáu lỗ sáng và tối với khe cắm DIC: U-D6BDREMC Bộ chuyển đổi năm lỗ sáng và tối với khe cắm DIC: U-D5BDREMC Bộ chuyển đổi năm lỗ sáng và tối với khe định tâm tự động DIC: U-P5BDREMC
Bàn vận chuyển		Được xây dựng trong ổ đĩa ly hợp, tay cầm đồng trục phải: MX-SIC8R Cú đánh: 210 x 210 mm Vùng truyền ánh sáng: 189 x 189 mm Được xây dựng trong ổ đĩa ly hợp, tay cầm đồng trục phải: MX-SIC6R2 Đột quỵ: 158 x 158 mm (sử dụng ánh sáng phản chiếu)	Được xây dựng trong ổ đĩa ly hợp, tay cầm đồng trục phải: MX-SIC1412R2 Cú đánh: 356 x 305 mm Vùng truyền ánh sáng: 356 x 284 mm
Cân nặng		Khoảng: 35,6kg (26kg cho giá kính hiển vi)	Xấp xỉ: 44kg (28,5kg cho giá kính hiển vi)

Lưu ý: Nội dung bảng tham số là giới thiệu tham số chính, thực tếTheo nhưCầu hình.