Giới thiệu:

① Chân không: 2.0x10-8Pa;

② Chất liệu: thép không gỉ 316L;

③ Mặt bích giao diện: tất cả các mặt bích lưỡi dao CF;

④ Xử lý bề mặt: xử lý đánh bóng điện phân loại bỏ dầu;

⑤ Kích thước khoang: tùy chỉnh theo nhu cầu của người dùng.

Giới thiệu thiết bị mở rộng chùm phân tử MBE:

Molecular Beam Extension (MBE) là một phương pháp mở rộng màng mới được phát triển và cũng là một quá trình phủ chân không đặc biệt. Extension là một công nghệ mới để chuẩn bị màng tinh thể đơn, đó là phương pháp để phát triển bộ phim theo từng lớp theo hướng trục tinh thể của vật liệu lót dưới lớp lót thích hợp với điều kiện thích hợp.

Ưu điểm của công nghệ này là: nhiệt độ thấp của lớp lót được sử dụng, tốc độ tăng trưởng chậm của lớp màng, cường độ dòng chảy chùm dễ kiểm soát và chính xác, thành phần lớp màng và nồng độ doping có thể được điều chỉnh nhanh chóng với sự thay đổi nguồn. Sử dụng kỹ thuật này đã có thể chuẩn bị màng đơn tinh thể mỏng đến hàng chục lớp nguyên tử, cũng như các vật liệu cấu trúc vi mô lượng tử siêu mỏng được hình thành bằng cách luân phiên phát triển các thành phần khác nhau và các màng pha tạp khác nhau.