Tính năng sản phẩm:

Độ chính xác phát hiện: 1 * 10-12Pa.m3/s;

Mức độ tự động hóa cao: sau khi kết nối thủ công phôi, thiết bị khởi động: chuyển đổi cửa, hút chân không, nạp helium, chịu áp lực, phát hiện, phục hồi hoàn toàn tự động hoàn thành;

Bảo vệ an toàn: bảo vệ raster, bảo vệ cơ khí, công tắc an toàn tích hợp, chức năng khóa điện, điều khiển mật khẩu cấp, nhắc nhở cảnh báo âm thanh và ánh sáng;

Lưu trữ dữ liệu: Phát hiện dữ liệu được lưu trữ trong cơ sở dữ liệu và cung cấp giao diện mở;

Thông số kỹ thuật:

Nhịp phát hiện: ≤40S/chiếc;

Kích thước khoang bên trong hộp chân không: tùy chỉnh theo hình dạng và kích thước của phôi được kiểm tra;

Cách mở cửa: tự động, cửa xoay trái và phải, loại cửa nâng, v.v.

Tỷ lệ thu hồi heli: ≥95%;

Áp suất phát hiện heli: ≤2.0MPa;

Tỷ lệ rò rỉ phát hiện:<2 g/năm;

Chế độ kiểm soát:Điều khiển PLC, hoạt động màn hình cảm ứng;