Cảm biến áp suất loạt sapphire bao gồm các yếu tố cách điện đơn tinh thể sapphire, độ cứng mạnh sẽ không xảy ra hiện tượng trễ, mệt mỏi và leo; Sapphire có tính đàn hồi và cách nhiệt rất tốt (trong vòng 1000 ℃), không nhạy cảm với sự thay đổi nhiệt độ và có đặc tính làm việc tốt ngay cả trong điều kiện nhiệt độ cao. Đặc tính chống bức xạ của sapphire rất mạnh; Cảm biến silicon-sapphire sử dụng công nghệ mở rộng silicon để phát triển một lớp màng silicon trên màng sapphire, sau đó sử dụng quá trình in thạch bản để tạo ra đường cầu silicon và quá trình doping nặng để tạo ra điện trở căng thẳng. Đường cầu silicon phát triển trên sapphire không có nút p-N và do đó không nhạy cảm với bức xạ trong khi không bị ảnh hưởng bởi giới hạn nhiệt độ trên của nhiệt độ giao nhau để tạo ra các sản phẩm đo nhiệt độ cao hơn. Quá trình pha tạp nặng được sử dụng có thể làm giảm ô nhiễm 2 lần của đường cầu silicon trong điều kiện nhiệt độ cao. Do đó, sapphire có thể phù hợp với tất cả các loại điều kiện làm việc phức tạp và môi trường. Cảm biến có cấu trúc màng kép Hồ-tan cấu trúc màng: sản phẩm cấu trúc màng kép bao gồm màng đo hợp kim titan và màng nhận. Màng tiếp nhận là màng sapphire được hàn nóng chảy ở nhiệt độ cao trên màng hợp kim titan, được kết nối bằng thanh kết nối kim loại cứng giữa màng đo và màng tiếp nhận, được kết nối với nhau bằng hàn nóng chảy hoặc hàn laser. Áp suất được đo được truyền đến màng tiếp nhận. Dưới tác động của áp suất, màng tiếp nhận hợp kim titan tạo ra biến dạng, sau khi được cảm nhận bởi các yếu tố nhạy cảm silicon-sapphire, đầu ra cầu của nó thay đổi, với biên độ thay đổi tỷ lệ thuận với áp suất được đo. Mạch cầu chuyển đổi tín hiệu mất cân bằng của cầu, thành đầu ra tín hiệu điện áp.

◆ Phạm vi đo nhiệt độ rộng

◆ Lỗi nhiệt độ rất nhỏ

◆ Độ chính xác cao, ổn định cao

◆ Trọng lượng nhẹ, tỷ lệ giá tình dục cao