Bộ lọc không khí là một yếu tố cơ bản được sử dụng để lọc khí để làm sạch khí. Yếu tố này có thể được gắn vào đầu cuối của cửa hút khí của máy bơm chân không dạng đĩa xoắn ốc, để khí vào máy bơm chân không được lọc và lọc, loại bỏ phần lớn các tạp chất hạt như bụi và hơi nước, v.v., để ngăn chặn máy bơm chân không cản trở công việc bình thường và kéo dài tuổi thọ của máy bơm chân không do hút khí không sạch.

Đầu hút khí liên kết bình chân không, khí đi vào thùng khí, lọc các bộ phận lọc bên trong thùng khí dọc; Khí sạch dẫn đến tee, và cổng thoát khí kết nối với bơm chân không, tạo thành một thiết bị hút. Đồng hồ chân không trên tee có thể đo độ chân không của nó. Xoắn ốc xả có thể loại trừ tạp chất bẩn.