Thuật toán điều khiển cho phép điều khiển shunt ổn định bằng cách kiểm soát tỷ lệ dòng chảy trong khi sử dụng công nghệ tối ưu hóa điều khiển HORIBA STEC để kiểm soát áp suất lên FS-3000. Ngoài ra, thuật toán điều khiển cho phép đáp ứng tốc độ cao với shunt ngay cả khi tỷ lệ shunt thay đổi.

• Cải thiện khả năng mở rộng, hiệu suất bảo trì. FS-3000 có thể tách tới 15 kênh bằng cách xử lý tín hiệu tốc độ cao. Nếu MFC bị lỗi, chỉ cần thay thế nô lệ bị lỗi.

• Thông số kỹ thuật cần thiết cho phản ứng linh hoạt FS-3000 hỗ trợ nhiều loại khí bao gồm khí hỗn hợp. Ngoài ra, FS-3000 cũng hỗ trợ các giao diện người dùng như RS-485, DeviceNet.