Mục đích của EDX:
1) Loại bỏ nguy cơ hỏng hóc thiết bị, giảm tỷ lệ hỏng hóc thiết bị
2) Cải thiện độ nhạy, độ chính xác và các tính chất khác của thiết bị, cho phép thiết bị hoạt động ổn định, an toàn và hiệu quả trong thời gian dài
3) Kéo dài tuổi thọ của dụng cụ và tối đa hóa hiệu quả sử dụng dụng cụ.
Hai,EDXKiểm tra nội dung bảo dưỡng:
1) Kiểm tra xem nguồn điện, dây mặt đất, quạt, vv cho EDX có bình thường không
2) Xác nhận xem thiết bị bảo vệ tia X, máy ảnh CCD, công tắc nắp phòng mẫu có bình thường không
3) Làm sạch bụi bên trong EDX, làm sạch bảng mẫu
4) Làm sạch dầu bôi trơn dư thừa trên thanh vít thùng mẫu
5) Thay đổi công tắc vi mô, vòng loại 0 và tấm lò xo
6) Thêm nitơ lỏng để xác nhận nếu nhiệt độ máy dò là bình thường
7) Xác nhận dòng điện áp tải ống X-ray là bình thường, để kiểm tra định tính, định lượng và sửa chữa
8) Kiểm tra xem các tập tin máy tính có quá mức không, có ảnh hưởng bất thường đến tốc độ mở không
9) Giao tiếp kỹ thuật với người dùng, đào tạo vận hành dụng cụ và cân nhắc
10) Theo từng nội dung kiểm tra, xuất bản báo cáo kiểm tra điểm dụng cụ