ICP-MS là một kỹ thuật phân tích đồng vị và nguyên tố vô cơ mới giúp phát hiện nhanh chóng và đồng thời gần như tất cả các nguyên tố trên bảng tuần hoàn. Công nghệ ICP-MS, về khả năng phân tích, vượt qua sự kết hợp của các kỹ thuật phân tích vô cơ truyền thống như công nghệ quang phổ plasma kết hợp điện cảm (ICPAES), hấp thụ nguyên tử lò than chì (GFAAS) và công nghệ hấp thụ nguyên tử lạnh thủy ngân (CVAAS), được gọi là sự phát triển thú vị nhất của công nghệ phân tích đương đại.

Các lĩnh vực ứng dụng công nghệ Agilent ICP-MS bao gồm:
● Phân tích mẫu môi trường, bao gồm phân tích nước máy, nước mặt, nước ngầm, nước biển và các loại đất, chất thải khác nhau;
● Phân tích vật liệu bán dẫn
● Phân tích mẫu như thủy tinh, gốm sứ và khoáng sản;
● Nghiên cứu địa chất;
● Nghiên cứu lâm sàng về thực phẩm sinh học và dược phẩm;
● Phân tích vật liệu hạt nhân
● Phân tích mẫu hóa dầu;
● Ứng dụng và nghiên cứu pháp y;
● Gần đây, hóa trị nguyên tố, phân tích hình thái trong các lĩnh vực như độc tố môi trường, khoa học đời sống kết hợp với công nghệ tách đã trở thành trọng tâm của ứng dụng công nghệ ICP-MS.
Tính năng phân tích ICP-MS:
● Phát hiện nhanh chóng và đồng thời hầu như tất cả các yếu tố trên bảng tuần hoàn
● Giới hạn phát hiện thấp nhất (thấp đến mức ppq)
● Phân tích tỷ lệ lợi ích/chi phí tốt nhất
Dải động tuyến tính rộng nhất - có thể phát hiện trực tiếp từ ppq đến hàng trăm ppm
● Đường quang phổ đơn giản nhất và ít nhiễu nhất, độ chính xác và độ chính xác tốt
● Yêu cầu kích thước mẫu thấp (ul đến ml), tốc độ phân tích nhanh (1-3 phút/mẫu)
● Chế độ phát hiện linh hoạt và đa dạng
Vật liệu phổ biến trong ngành công nghiệp bán dẫn phân tích chất gây ô nhiễm siêu vi:
Chất rắn: Si; GaAa monocrystalline slice; Vật liệu lò như thạch anh, silicon carbide; Điện cực kim loại có độ tinh khiết cao, vv
Chất lỏng: Nước siêu tinh khiết; HF;HNO3; HCI; H2SO4; H2O2; Amoniac nước vv
Khí: SiH4; TE0S; NF3; N2 và như vậy
Agilent ICP-MS phân tích trực tiếp các mẫu hữu cơ:
Công nghệ plasma lạnh hiệu suất cao, mô men che chắn công suất cao của Agilent ICP-MS đã được sử dụng để xác định các yếu tố ô nhiễm vi lượng ppt cho một loạt các mẫu hữu cơ.
● Đối với một số mẫu này, các phương pháp khác không thể đạt được kết quả thỏa đáng và công nghệ plasma lạnh mô men che chắn công suất cao là phương pháp phân tích duy nhất.
● Chất tẩy rửa kiềm mạnh - Tetramethyl Amoniac Hydroxide (TMAH), v.v.
● Dung môi hữu cơ phổ biến - Toluene, Xylene, IPA, v.v.
● Mẫu ma trận cao - chất tẩy rửa cực kỳ dễ bay hơi như photoxen, tinh thể lỏng, BPSG, PSG - acetone, methanol, v.v.